激光干涉仪

可实现线性测长、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量。动态测量软件配合下，可实现线性位移、角度和直线度的动态测量与性能检测，以及进行位移、速度、加速度、振幅与频率的动态分析，如振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。具有测量精度高、测量范围大、测量速度快、最高测速下分辨率高等优点。

产品采用进口高性能氦氖激光器，其寿命可达50000小时；采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高速干涉信号采集、调理及细分技术，可实现最高4m/s的测量速度，以及纳米级的分辨率；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；采用高性能计算机控制系统及软件技术，支持中文、英文和俄文语言，友好的人机界面、向导式的操作流程、简洁化的记录管理。

产品配置

　　SJ6800激光干涉仪系统具有丰富的模块化组件，可根据具体测量需求而选择不同的组件。主要镜组如下图所列，依次为线性镜组、角度镜组、直线度镜组、垂直度镜组、平面度镜组、自动精密转台。

其中，线性镜组为标配，由线性干涉镜、线性反射镜和夹紧孔座构成。可满足线性位移设备的定位精度、重复定位精度、反向间隙的测量与分析，以及反向间隙修正和螺距补偿。

产品功能特点

• 可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；

• 可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；

• 可实现对机床回转轴的测量与校准；

• 可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据；

• 具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等；

• 支持手动或自动进行环境补偿。

激光干涉仪应用：组装机床高校、机床直线度测量、机床测量、数据机床校准、机床回转轴测量、龙门加工中心测量、激光切割机测量、自动化设备测量、长导轨测量、加工中心回转轴测量、测量机床倾斜轴线测量